單晶硅諧振式變送器的特點(diǎn)
EJA變送器與羅斯蒙特變送器雖然都是世界一流的變送器品牌,但是它們采用的傳感器技術(shù)卻完全不一樣,電容式壓力傳感器是一種比較傳統(tǒng)的測(cè)量技術(shù),而單晶硅諧振式傳感器是一種新的傳感器技術(shù),目前EJA變送器的精度與羅斯蒙特變送器的精度差不多,是什么讓EJA變送器能夠與羅斯蒙特變送器站在一起呢?這就不得不提到單晶硅諧振式變送器的特點(diǎn)了。
下面總結(jié)一下幾種常用的壓力傳感器類別:
1、電位器式,這種傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,精度高、重量輕、性能穩(wěn)定,但是要求輸入能量大、電刷與電阻元件之間容易磨損。
2、應(yīng)變式傳感器,這種常見的有絲式電阻應(yīng)變片和箔式電阻應(yīng)變片兩種,擁有分辨力高、誤差較小、尺寸小、重量輕、測(cè)量范圍大,既可測(cè)靜態(tài)也可測(cè)快速交變應(yīng)里,具有電氣測(cè)量的一切優(yōu)點(diǎn)。
3、霍爾式傳感器,特點(diǎn)是可以測(cè)量任意波形的電流和電壓,精度高,在工作溫度區(qū)內(nèi)精度優(yōu)于1%,該精度適合于任何波形的測(cè)量。需要注意的是霍爾傳感器具有較強(qiáng)的抗外磁場(chǎng)干擾能力,但是為了獲得較高的測(cè)量準(zhǔn)確度,要采用調(diào)整模塊方向或在模塊上加罩一個(gè)抗磁場(chǎng)的金屬屏蔽罩。
4、氣膜式傳感器,這種傳感器精度一般,而且安裝復(fù)雜且維護(hù)困難。
5、壓電式傳感器,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、質(zhì)量小、功耗小、壽命長(zhǎng)、特別是具有良好的動(dòng)態(tài)特性,因此合適有很寬頻帶的周期作用力和高速變化的沖擊力。
6、壓阻式傳感器的靈敏度比金屬絲式應(yīng)變片的靈敏度高,其精度好,而且響應(yīng)頻率好,工作可靠。缺點(diǎn)是受溫度影響較大,應(yīng)進(jìn)行溫度補(bǔ)償壓阻效應(yīng)是物質(zhì)受外力作用發(fā)生變形時(shí),其電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。
7、電容式傳感器,高阻抗小功率、溫度穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適應(yīng)性強(qiáng)、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,缺點(diǎn)就是輸出阻抗高,負(fù)載能力差,寄生電容影響大,羅斯蒙特就是用的這種技術(shù)。
8、諧振式傳感器,橫河EJA變送器采用的就是這種技術(shù),優(yōu)點(diǎn)是體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊、分辨率高、精度高以及便于數(shù)據(jù)傳輸、處理和存儲(chǔ)等。
特別是微機(jī)械處理單晶硅,可以提高穩(wěn)定性和再現(xiàn)性,消除滯后現(xiàn)象,溫度的影響是其他硅技術(shù)(10 ppm/℃)的十分之一弱,因此即使是條件最苛刻的過(guò)程應(yīng)用中都可以確保出色的穩(wěn)定性。相比模擬傳感器,硅諧振傳感器輸出可以產(chǎn)生更高的信噪比。硅諧振傳感器的輸出至少是其前任產(chǎn)品壓阻式硅傳感器的四倍。溫度和靜壓產(chǎn)生的誤差在整體輸出中可忽略不計(jì)。 橫河電機(jī)DPharp壓力變送器和MT100/200數(shù)字壓力計(jì)中應(yīng)用了這一先進(jìn)的傳感器技術(shù)。
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