橫河EJA變送器EJA210/220A、EJA430A、EJA510A/530A采用了世界最領(lǐng)先的微電子機(jī)械加工高新技術(shù)（MEMS），即采用微電子加工技術(shù)（MEMS）在一個(gè)單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作兩個(gè)形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的Ｈ形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩。

MEMS有如下幾點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：

⒈調(diào)節(jié)輸出信號(hào)。集成在芯片上的電路可以在信號(hào)傳輸前預(yù)先完成A/D轉(zhuǎn)換、阻抗匹配、輸出信號(hào)格式化以及信號(hào)平均等信號(hào)調(diào)節(jié)和處理工作。
⒉大大提高信噪比。在同一個(gè)芯片上進(jìn)行信號(hào)傳輸前可放大信號(hào)以提高信號(hào)水平，減小干擾和傳輸?shù)脑肼暎貏e是同一芯片上進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換時(shí)，更能改善信噪比。
⒊MEMS傳感器還可以把多個(gè)相同的敏感元件集成在同一芯片上形成傳感器陣列（如微型觸覺傳感器）；或把不同的敏感元件集成在同一芯片上實(shí)現(xiàn)多功能傳感（如微型氣敏傳感器）。
⒋由于MEMS傳感器體積微小，重量極輕，因此其附貼片鉭電容加質(zhì)量等因素對(duì)被測系統(tǒng)的影響可以忽略不計(jì)，可提高測量精度。
⒌此種傳感器在同一芯片上集成了了放大電路、敏感元件以及補(bǔ)償電路，可以實(shí)現(xiàn)傳感探測的同時(shí)，而且還能處理信號(hào)，增強(qiáng)鉭電容的線性度和頻響特性，減少溫度或靜壓引起的誤差，并且可以每隔一段時(shí)間自行校準(zhǔn)和診斷。

橫河變送器靜壓影響忽略不計(jì)，當(dāng)加有靜壓（工作壓力）時(shí)，兩形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的諧振梁形變相同，故頻率變化也一致，故偏差自動(dòng)清除（公式和圖類似溫度影響）。

橫河變送器單向過壓特性優(yōu)異 ，接液膜片與膜盒本體采用獨(dú)創(chuàng)的波紋加工技術(shù)，使外部壓力增大到某一數(shù)值時(shí)，接液膜片能與本 EJA智能壓力變送器體完全接觸，硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增加，從而達(dá)到對(duì)傳感器的保護(hù)作用。、所示為ＥＪＡ過壓特性。安裝靈活，可無需支架，直接安裝，常規(guī)使用，無需三閥組，組態(tài)靈活簡便，可通過計(jì)算機(jī)或手操器對(duì)變送器組態(tài)，也可通過變送器上的量程設(shè)置按鈕和調(diào)零按鈕，進(jìn)行現(xiàn)場調(diào)整。
橫河支持開放式通訊協(xié)議：BRAIN/HART/FF 現(xiàn)場總線三種通訊協(xié)義供選擇.
并且開發(fā)時(shí)重視零點(diǎn)的穩(wěn)定性，提高了維護(hù)效率。
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